干法去膠主要是利用等離子去膠機去除光刻膠，原理是利用電離氧氣產生的活化氧與光刻膠發生氧化反應并將其氧化成水汽和二氧化碳等排出腔室。等離子去膠的優點是去膠操作簡單、去膠效率高、環保、去膠后晶圓表面干凈光潔、無劃痕，而且對結構的其它層無損傷。